Electron-beam, X-ray and ion-beam technology: submicrometer lithographies VII - 2-4 March 1988, Santa Barbara, California
- Författare
- (Arnold W. Yanof, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | USA, Bellingham | vii, 307 sidor. |